产品特点 1. 质地细腻、平整度优异、不脱毛； 2. 高去除速率； 3. 优异的抛光重复性，表现稳定； 4. 抛光后可以达到无划痕、无橘皮的镜面效果。 应用领域 GRISH抛光垫用于蓝宝石、硅晶片等硬脆材料的终道CMP抛光，也可用于不锈钢、铝合金等金属材料的镜面抛光。 项目 产品规格 测试方法 厚度（mm） 1.4±0.1 游标卡尺测量 硬度 60±2 邵氏（A）硬度计测量 孔深（mm） 0.37 显微镜放大200倍比对样品无明显差异 压缩率（百分比） 9 - 绒长（mm） 0.4±0.05 显微镜放大200倍比对样品无明显差异 尺寸（mm） Φ（920±2） 卷尺测量 备注1：可根据顾客需求提供不同厚度、尺寸的抛光垫产品； 备注2：可根据顾客需要进行开槽和背胶处理。
